微缩图案扩大而拓展。
级二氧化硅(SiO₂)填料导致表面粗糙度上升,引发电子迁移阻力增大、信号损耗及曝光精度下降等问题。 KC Tech提出“填料微细化+CMP工艺优化”方案,目标将表面粗糙度与碟形坑(Dishing)控制在0.5微米以下。目前已掌握核心CMP技术,正推进材料与工艺的匹配优化,兼顾低介电、低损耗及平坦化结构
当前文章:http://ukmcya8.xmhezu.com/267j/94x38gp.html
发布时间:04:47:26